微系统是集成微传感器、微执行器、处理电路等的芯片集成系统，是微型化技术的前沿学科。本课程介绍微系统的基础理论、设计制造方法、重要发展方向和前沿领域，包括微制造技术、物理力学基础、微传感器、微执行器、RF-MEMS、光学微系统、芯片实验室、BioMEMS、PowerMEMS。
2024-02-28
课程内容主要围绕四类实用模拟集成系统展开，分别是复杂运算放大器、模拟滤波器（连续时间与离散时间）、数据转换器（奈奎斯特速率与过采样）、电源转换器，侧重电路网络的数学原理和关键功能模块实现技术。
2024-02-28
1）半导体物理实验：MOS高频C-V特性测量（计算二氧化硅中的固定电荷和可动电荷）和霍尔效应实验； 2）纳电子教学实验：量子点红外探测器实验。
2024-02-28
本课程为微纳电子学系本科专业课程。通过课程学习，掌握纳电子学的基本概念、原理与方法，了解微电子向纳电子发展的学科前沿。主要教学内容包括纳米CMOS技术、共振隧道现象与器件、单电子器件、碳纳米管电子学、自旋电子学、超导电子学、分子电子学、纳电子机械系统、量子信息处理等方面的基本知识及前沿进展。
2024-02-28
课程内容由知识与技能培训（教学）、六个实验组成。知识与技能培训部分以讲课与练习为主，包括：基于FPGA和硬件描述语言的数字电路设计，基于印刷电路板的电路设计与制作。课程安排6个实验，为三个板块。板块一：数字集成电路的测试与应用，包括基本逻辑单元的测试（实验1）、基于基本逻辑单元的数字电路设计（实验2）、...
2024-02-28
课程教学内容与国外著名大学的同类课程内容接轨，并根据清华大学学生所具有的电路基础和特点进行设置。本课程以集成放大器为主线，讲授模拟集成电路基本单元的分析和设计方法，使学生初步具有从事模拟集成电路分析和设计的能力，并培养学生初步的模拟集成电路设计经验。
2024-02-28
本课程从晶体管和基本功能单元的层面介绍数字集成电路设计的基本概念和技巧，引导学生从逻辑设计概念进入CMOS电路设计。具体内容包括：数字电路布尔逻辑；MOSFET电气特性；CMOS 反相器和逻辑门电子学分析（直流特性、开关特性、功耗等）；高速CMOS逻辑电路设计及CMOS 逻辑的高级技术；时序单元电路；加法器设计；CMOS集...
2024-02-28
本课程授课目的是使学生掌握微电子制造的各单项工艺技术，以及亚微米CMOS集成电路的工艺集成技术。本课程讲授微电子制造工艺各单项工艺的基本原理（包括氧化、扩散、离子注入、薄膜淀积、光刻、刻蚀、金属化工艺等），并介绍常用的工艺检测方法和MEMS加工技术、集成电路工艺集成技术和工艺技术的发展趋势等问题。另通过...
2024-02-28
集成电路全产业链各环节对专业知识的要求有较大的差异，范围包括电子、机械、材料、计算机等多个领域，而集成电路产业的创新又需要领军人才对各领域都有所深入了解。针对这一特点，计划开设《集成电路先进技术》，由校内相关各专业领域的资深教讲授各自科研领域，面向集成电路设计、制造、EDA、专用设备和专用材料共5个...
2024-02-28
该课程将涵盖半导体生产中使用的现代光刻技术，将描述所使用的设备和材料、分辨率限制、分辨率增强、覆盖、反射控制、光刻胶类型、光刻胶理论，并描述光刻胶之后的一些工艺，例如刻蚀和双重图案等。
2024-02-28
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