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集成电路先进制造原理与实践

发布时间:2024-02-28 点击数:

本课程将依托微电子所仿真平台、超净间和测试间实验条件,让研究室熟悉主流的FinFET电子器件的版图绘制、仿真设计、工艺流片(包括光刻,刻蚀,金属沉积和ALD)和测试全流程。同时邀请业界专家进行学术讲座。