清华大学微纳加工中心作为清华大学校级开放共享服务平台，服务学校迈向世界顶级一流大学前列的目标。中心以微纳尺度为特征，集设计、加工、测试为一体，具备高端先进的微纳加工测试环境。
中心实行7天24小时开放服务，秉持“开放”“共享”原则，坚持科研、育人并重，支持校内外师生在多领域、交叉学科进行学术前沿探索和关键技术攻关，支撑30多门本科生、研究生教学课程的开展，是集成电路专业人才培养的重要基地。
微纳加工中心新洁净间位于自强科技楼5号楼一层。该超净实验室总使用面积约2000平方米，其中干级区为1800平方米，百级区为220平方米，采用垂直层流的净化方式，在此基础上，实验室内对温湿度、震动、纯水等进行了严格地控制，以满足高精度的集成电路工艺技术和微纳加工技术的需求。
（http://tnf.ime.tsinghua.edu.cn）
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