王喆垚

61049E




王喆垚 长聘教授


通信地址:北京清华大学集成电路学院

邮编:100084

电话:010-62771130

电子邮箱:z.wang@mail.tsinghua.edu.cn

更多信息:http://main.ime.tsinghua.edu.cn









王喆垚,1972年出生于内蒙古,1990年-1995年获清华大学学士学位,1995-2000年清华大学博士学位。2000-2003年分别在清华大学微电子所(集成电路学院前身)和荷兰Delft University of Technology微电子与亚微米技术研究所(Delft Institute of Microelectronics and Submicron Technology, DIMES)从事博士后研究,2003年底回国工作。2003年底任副教授,2008年底晋升为教授,现为长聘教授。

主要从事MEMS、微纳传感器和系统集成技术的研究。发表国际期刊论文120篇,国际会议论文60篇,授权中国发明专利20项, 2005年入选北京市科技新星计划,入选2005年教育部新世纪优秀人才支持计划。先后负责国家自然科学基金(面上及重点)、973子课题、863探索导向型项目,以及IntelABBLam Research等公司的国际合作项目。现为中国仪器仪表学会传感器分会理事,IEEE高级会员,数十次担任IEEE Sensors ConferenceTransducersIEEE MEMSCSTICIEEE NEMSIEEEEDAPS等国际会议的技术委员会委员。

主要研究方向:

1. 三维集成与芯粒集成技术:包括高深宽比TSV制造技术、芯片及晶圆级混合键合技术、高密度金属键合技术,以及系统集成技术。

2. MEMS与微纳传感器:包括新型微纳米传感器、集成传感器阵列,以及射频MEMS技术。

3、微纳制造技术:包括三维微纳结构制造技术、高分子及金属微纳加工,以及传感器与CMOS集成技术。